一、等離子體介紹
1、產品原理
通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質進行氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質，從而優(yōu)化材料表面性能，實現清潔、改性、刻蝕等目的。
2、行業(yè)應用
二、產品介紹
1、產品概述
SPV-100真空等離子清洗機(Plasma cleaner)，氣體通過激勵電源離化成等離子態(tài)，等離子體作用于產品表面，清洗產品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保、高效、穩(wěn)定的表面處理方式。
2、產品優(yōu)勢
（1）便捷的收放板方式。
（2）真空系統(tǒng)集成，占地面積小。
（3）低耗能、耗氣產品。
（4）水平電極設計，可滿足軟性產品處理需求。
（5）集成的控制系統(tǒng)設計，使操作更方便。
（6）合理的等離子反應空間，使處理更均勻。
（7）產品放置治具靈活多變，可適應不規(guī)則的產品。
3、產品結構
真空等離子體表面處理系統(tǒng)主要包括三個部分：真空腔及真空系統(tǒng)，等離子體發(fā)生器，控制系統(tǒng)。
（A）真空腔及真空發(fā)生系統(tǒng)
真空腔固定于機柜框架內，左右兩側為可拆門，因此內部的真空腔及真空系統(tǒng)的維修是極方便的。真空發(fā)生系統(tǒng)由波紋管、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成，核心部件真空泵（真空泵組）。
（B）等離子體發(fā)生器
等離子體發(fā)生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓，產生低溫等離子體。利用高頻轉換技術形成高頻電壓加到電極板上，當真空腔內達到一定真空度時，產生等離子體放電現象，放電后電路會自動調節(jié)電壓到適當值，保證電路正常穩(wěn)定放電。
（C）控制系統(tǒng)
本系統(tǒng)使用MCGS觸摸屏、西門子PLC、中文界面。設備的工藝流程控制：真空泵啟動->擋板閥開啟->達到設定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時間到破真空->工作完成。設備分自動和手動兩種方式。
4、產品規(guī)格
5、設備尺寸圖紙
（1）主機尺寸圖紙
（2）等離子腔體圖紙
三、規(guī)格要求
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